System skaningowego mikroskopu elektronowego

System skaningowego mikroskopu elektronowego FEI Inspect S i spektrometru EDS Octane Elect Silicon Drift Detector (SDD) firmy EDAX umożliwiają generowanie i zbieranie wszelkich możliwych informacji generowanych z próbek materiałów przewodzących lub nieprzewodzących.

Główne elementy i charakterystyki układu optycznego mikroskopu Inspect S:

• Napięcie przyspieszające 200 V do 30 kV
• Rozdzielczość

Rozdzielczość SE:

• 3.0 nm (separacja ziaren złota na błonce węglowej) przy 30 kV, w obu trybach próżniowych,
• 10 nm przy 3 kV w trybie wysokopróżniowym
• <12 nm przy 3 kV w trybie niskopróżniowym.

Rozdzielczość BSE:

• 4.0 nm (separacja ziaren złota, zwieszonych na błonce węglowej) przy 30 kV, w obu trybach próżniowych
• Powiększenie 6x (przy największe odległości roboczej) do 120,000x, dla standardowego monitora LCD o przekątnej 19 cali
• Standardowe detektory systemowe

System Inspect S wyposażony jest w detektory niezbędne do detekcji elektronów wtórnych (SE) w całym dostępnym zakresie próżniowym:

• w trybie wysokiej próżni: konwencjonalny detektor SED Everharta-Thornley’a ze zmiennym potencjałem siatki;
• w trybie niskiej próżni: szerokopolowy gazowy detektor LF-SED (trzeciej generacji), montowany nie-osiowo, wyposażony w udoskonalony przedwzmacniacz sygnału;
• detektor elektronów wstecznie rozproszonych SS BSED
• analityczny „gazowy” detektor elektronów wstecznie rozproszonych GAD SS BSED EDS

Detektor Si(Li) przeznaczony do detekcji wszystkich pierwiastków od berylu wzwyż.

Oprogramowanie jakościowej i ilościowej mikroanalizy rentgenowskiej do próbek badanych w skaningowym mikroskopie elektronowym, korzystające z algorytmów korekcji macierzowych ZAF i oferujące następujące możliwości:

• Całkowicie bezwzorcowa analiza ilościowa
• Możliwość uwzględniania współczynników korekcji dla pierwiastków lekkich
• Pełna możliwość analizy ilościowej z wykorzystaniem wzorców czystych pierwiastków, wzorców związków lub wzorców częściowych
• Zaawansowany pakiet oprogramowania do akwizycji i wyświetlania cyfrowych obrazów elektronowych (SE, BSE etc.) i/lub map rentgenowskich rozkładu pierwiastków. Zebrane obrazy mogą być drukowane lub archiwizowane na dyskach. Możliwa jest jednoczesna akwizycja do 36 obrazów,  w tym każda kombinacja do 35 map rtg i do 2 obrazów elektronowych.
• Możliwość rejestrowania profili rozkładu pierwiastków wzdłuż linii prostej, przy czym rezultaty są przesyłane do programu arkusza kalkulacyjnego MS-Office Excel i tu dostępne do przeglądania oraz ewentualnej dalszej obróbki. „Skany liniowe” mogą być rejestrowane wzdłuż wybranej linii prostej zorientowanej w jakimkolwiek kierunku i przechodzącej przez jakikolwiek punkt na obrazie.